[实用新型]混合离子源装置有效

专利信息
申请号: 201120466488.9 申请日: 2011-11-22
公开(公告)号: CN202405230U 公开(公告)日: 2012-08-29
发明(设计)人: 潘翔;段姝敏;章凯 申请(专利权)人: 江苏天瑞仪器股份有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 宋合成
地址: 215300 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种混合离子源装置,包括:壳体;玻璃罩,所述玻璃罩内限定有离子源封闭室且所述玻璃罩的外壁与所述壳体的内壁相连;加热器组件,所述加热器组件与所述壳体的顶部相连;电极,所述电极与所述玻璃罩的内壁相连;电晕放电针,所述电晕放电针的第一端与所述玻璃罩相连且所述电晕放电针的第二端具有折弯部;门体,所述门体可枢转地安装在所述壳体的底部以打开和关闭所述离子源封闭室;和喷针,所述针座与所述门体相连且所述针头邻近所述电晕放电针的折弯部。根据本实用新型的混合离子源装置,将电晕放电针和喷针有机地结合在一个装置内,可以使用户针对具体需要进行选择,提高了根据本实用新型的混合离子源装置适用范围。
搜索关键词: 混合 离子源 装置
【主权项】:
一种混合离子源装置,其特征在于,包括:壳体;玻璃罩,所述玻璃罩为中空筒状,所述玻璃罩内限定有离子源封闭室且所述玻璃罩的外壁与所述壳体的内壁相连;用于对所述离子源封闭室加热的加热器组件,所述加热器组件与所述壳体的顶部相连;电极,所述电极与所述玻璃罩的内壁相连;电晕放电针,所述电晕放电针的第一端与所述玻璃罩相连且所述电晕放电针的第二端具有折弯部;门体,所述门体可枢转地安装在所述壳体的底部以打开和关闭所述离子源封闭室;和喷针,所述喷针包括针座和与所述针座相连的针头,所述针座与所述门体相连且所述针头邻近所述电晕放电针的折弯部。
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