[实用新型]一种以不同材料形成分区的静电吸盘

摘要

本实用新型涉及一种以不同材料形成分区的静电吸盘，为了加快晶片上某一区域刻蚀等反应的处理速率，可以在静电吸盘上对应位置形成导电性更好的介电层分区，增强该分区上的射频耦合能量，来增强等离子体的浓度；或者是在静电吸盘上对应位置形成导热性更好的介电层分区，通过提升该分区的温度，来加快对应晶片区域的化学反应速率。反之，采用导电或导热性能相反的材料所制成的分区，就会降低对应晶片区域的处理速率。因此，本实用新型所述静电吸盘中，为了抵消原先例如反应腔内气体不均匀分布的影响，利用了介电层上各个分区材料不同的导电或导热性能，能够对应调整对晶片相应区域的处理反应速率，改善晶片表面处理的均匀性。

主权项

一种以不同材料形成分区的静电吸盘，其设置在等离子体处理装置的反应腔（100）内，在该反应腔（100）内通过接收射频能量，产生反应气体的等离子体对晶片（50）进行处理；所述静电吸盘包含介电层（20）及其中埋设的直流电极（30）；在等离子体处理过程中，所述直流电极（30）上连通电源后产生的静电力，对放置在静电吸盘顶面上的所述晶片（50）进行固定，其特征在于，所述静电吸盘的介电层（20）包含由不同材料制成的若干个分区，所述各个分区的位置与其上方晶片（50）上划分的若干个区域相对应；制成所述各个分区的材料具有不同的导电性能或导热性能，使得所述晶片（50）的对应区域上通过等离子体进行处理的反应速率不同。