[实用新型]改善吹风洁净度的光刻机系统有效
| 申请号： | 201120471313.7 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN202404352U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘庆锋;王诚 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种改善吹风洁净度的光刻机系统，包括：光刻机本体，位于洁净室中；空调系统；风管，分别与光刻机本体和空调系统相连接，引导空气并将其吹送到光刻机本体的内部组件表面；还包括过滤器，位于风管的路径上，将空调系统送出的空气过滤净化。本实用新型通过在光刻机系统的进风口处加装过滤器，使其过滤掉腐蚀性的酸碱气体和微小颗粒，净化光刻机内部环境，保护光刻机镜头组件不受污染，改善了光照均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 吹风 洁净 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种改善吹风洁净度的光刻机系统，包括：光刻机本体，位于洁净室中；空调系统；风管，分别与所述光刻机本体和所述空调系统相连接，引导空气并将其吹送到所述光刻机本体的内部组件表面；其特征在于，还包括过滤器，位于所述风管的路径上，将所述空调系统送出的空气过滤净化。
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