[实用新型]一种真空烘干装置

摘要

本实用新型的一种真空烘干装置，包括真空烘干箱，其特征在于还包括真空转移箱、真空冷却箱以及工件移动承载平台，所述真空烘干箱设有第一真空对接部，所述真空转移箱设有第二真空对接部，所述真空冷却箱第三真空对接部，所述真空转移箱交互移动于真空烘干箱和真空冷却箱之间，同时第二对接部分别交互与第一对接部以及第三对接部形成密封对接，所述工件移动承载平台移动于真空烘干箱、真空转移箱以及真空冷却箱之间同，本实用新型解决了现有技术存在的烘干工效低、能耗高的问题。

主权项

一种真空烘干装置，包括真空烘干箱，所述真空烘干箱包括抽吸箱体内空气的第一真空装置以及设置在箱体内的加热装置，所述真空烘干箱还包括第一密封门，其特征在于还包括真空转移箱、真空冷却箱以及工件移动承载平台，所述真空烘干箱的第一密封门侧设有第一真空对接部，所述真空转移箱包括抽吸转移箱内部空气的第二真空装置以及第二密封门，所述第二密封门侧设有第二真空对接部，所述真空冷却箱包括制冷装置、第三真空装置以及第三密封门，所述第三密封门侧设有第三真空对接部，所述真空转移箱交互移动于真空烘干箱和真空冷却箱之间，且真空转移箱的第二对接部分别交互与真空烘干箱的第一对接部以及真空冷却箱的第三对接部形成密封对接，所述工件移动承载平台移动于真空烘干箱、真空转移箱以及真空冷却箱之间。