[实用新型]单晶炉石英坩埚炉外装料的装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，包括石英坩埚及底座，所述的底座与石英坩埚相匹配，所述的底座上铺有碳纤维，石英坩埚置于碳纤维上。本实用新型装置工作过程是，铺垫好碳纤维，放入石英坩埚，展开网眼，装满原料；把装满原料的石英坩埚移至单晶炉旁，用三个吊钩对应钩住碳纤维上沿圆周的三处网眼，升降上轴，提起石英坩埚后再缓缓放入单晶炉内的石墨埚帮中；取开三个吊钩，用钼片把碳纤维超出石墨埚帮上沿的网眼塞入石墨埚帮和石英坩埚的缝隙中，最后取走石英坩埚上的防护罩即成。利用本实用新型装置，能够缩短单炉次工序周期，延长石墨埚帮的使用寿命，降低晶体碳含量，提高单晶品质。

主权项

一种单晶炉石英坩埚炉外装料的装置，其特征在于，包括石英坩埚(1)及底座，所述的底座与石英坩埚(1)相匹配，所述的底座上铺有碳纤维(3)，石英坩埚(1)置于碳纤维(3)上，碳纤维(3)上设有网眼(4)。