[实用新型]一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，恒温装置还包括源盒、基座、控制盒和电源盒，源盒放置在基座上并在源盒顶部加装源盒盖，所述石英源瓶置于源盒内，石英源瓶内设温度传感器，且温度传感器与补偿导线一端相连而补偿导线另一端接至控制盒；所述基座从上到下依次包括传热铝块、帕尔贴组和散热装置。本实用新型所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置通过通讯模块可以与控制中心进行数据交换，方便控制中心对恒温装置的实时监控，实现扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温。

主权项

一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，包括石英源瓶(3)，且石英源瓶(3)上设有石英源瓶接口(17)，其特征是，所述恒温装置还包括源盒(2)、基座(1)、控制盒(6)和电源盒(12)，源盒(2)放置在基座(1)上并在源盒(2)顶部加装源盒盖(4)，所述石英源瓶(3)置于源盒(2)内，石英源瓶(3)内设温度传感器(5)，且温度传感器(5)与补偿导线(7)一端相连而补偿导线(7)另一端接至控制盒(6)；所述基座(1)从上到下依次包括传热铝块(11)、帕尔贴组(20)和散热装置(9)。