[实用新型]钻石晶圆抛光机有效
| 申请号： | 201120484607.3 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN202336791U | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 苑执中;温峰城;廖治国 | 申请（专利权）人： | 台钻科技（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 陈大通 |
| 地址： | 450016 河南省郑州市郑州经济*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动力系统和磨盘的动力系统，每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动力系统；每个主轴的动力系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，减速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。本实用新型将主轴机构设置为彼此独立工作的方式，可以根据需要控制不同的主轴机构的转速、旋转方向和旋转时间，以及可以单独调节每个主轴机构的加力程度，解决了不同钻石晶圆实施不同加工程度的问题，其结构简单，使用效果好，容易生产制造或改造，容易操作控制，非常利于推广实施。 | ||
| 搜索关键词： | 钻石 抛光机 | ||
【主权项】：
一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动力系统和磨盘的动力系统，其特征是：每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动力系统；每个主轴的动力系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，减速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。
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