[实用新型]一种真空电子提纯炉有效
| 申请号： | 201120490608.9 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202499717U | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 徐松林 | 申请（专利权）人： | 南京威途真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 广州天河互易知识产权代理事务所(普通合伙) 44294 | 代理人： | 尹箐 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅料提纯设备，尤其涉及一种真空电子提纯炉，包括真空炉体、电子枪、抽真空系统、电控系统、加料装置、储料装置，电子枪竖直安装在真空炉体的顶面上，抽真空系统配置在真空炉体的后方，加料装置连接在真空炉体的侧面，储料装置安装在加料装置的顶面，真空炉体内部设置有至少两个坩埚，在各坩埚下方设置有对应的蒸发槽，电控系统集成在电控柜中，用于控制各部件动作。本实用新型是在真空的环境下，利用电子枪产生的电子束加热硅材料使之熔化，从而使杂质蒸发，提纯后的硅溶液流入蒸发槽，通过保温等手段制成纯度更高的硅锭。在真空炉体内部设置至少两个坩埚，可以同时作业，提高了产量，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电子 提纯 | ||
【主权项】：
一种真空电子提纯炉，其特征在于：包括真空炉体、电子枪、抽真空系统、电控系统、加料装置、储料装置，电子枪竖直安装在真空炉体的顶面上，抽真空系统配置在真空炉体的后方，加料装置连接在真空炉体的侧面，储料装置安装在加料装置的顶面，真空炉体内部设置有至少两个坩埚，在各坩埚下方设置有对应的蒸发槽，电控系统集成在电控柜中。
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