[实用新型]石英坩埚生产过程的温度监控系统有效

专利信息
申请号: 201120493330.0 申请日: 2011-12-01
公开(公告)号: CN202400947U 公开(公告)日: 2012-08-29
发明(设计)人: 王琦;宋毅;胡焕性 申请(专利权)人: 西安金诺光电科技有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;G05D23/20
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 李子安
地址: 710075 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种石英坩埚生产过程的温度监控系统,包括用于实时采集石英坩埚生产过程中温度的非接触式温度测量模块、与非接触式温度测量模块相接并用于对非接触式温度测量模块所采集到得温度数据进行调理的信号调理电路模块、与信号调理电路模块相接且用于对信号调理电路模块所输出的数据进行分析处理的控制器模块和与控制器模块相接且用于实时显示测量温度的显示模块,以及给非接触式温度测量模块、信号调理电路模块、控制器模块和显示模块供电的电源管理模块。本实用新型结构简单,设计合理,方便实现,使用寿命长,维护简便,自动化程度高,可扩展性能好,实用性强,使用效果好,便于推广实用。
搜索关键词: 石英 坩埚 生产过程 温度 监控 系统
【主权项】:
一种石英坩埚生产过程的温度监控系统,其特征在于:包括用于实时采集石英坩埚生产过程中温度的非接触式温度测量模块(1)、与非接触式温度测量模块(1)相接并用于对非接触式温度测量模块(1)所采集到得温度数据进行调理的信号调理电路模块(2)、与信号调理电路模块(2)相接且用于对信号调理电路模块(2)所输出的数据进行分析处理的控制器模块(3)和与控制器模块(3)相接且用于实时显示测量温度的显示模块(4),以及给非接触式温度测量模块(1)、信号调理电路模块(2)、控制器模块(3)和显示模块(4)供电的电源管理模块(5)。
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