[实用新型]调整装置有效
| 申请号： | 201120499472.8 | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN202357028U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 胡斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种调整装置，包括壳体，所述调整装置还包括一个用于向所述壳体内部充气的充气接头，所述充气接头设置于所述壳体上，所述充气接头接外部气源。本实用新型提供的调整装置，通过该充气接头向所述调整装置的内部充入气体，气体进入调整装置内部以后，起到两个作用，一是使调整装置内部气压大于外部气压，从而，有效防止附着在调整装置壳体外表面上的液体被慢慢吸到调整装置的内部；二是气体在调整装置内部流通，可以降低调整装置内部温度，从而，有效预防冷凝水的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种调整装置，包括壳体，其特征在于，所述调整装置还包括一用于向所述壳体内部充气的充气接头，所述充气接头设置于所述壳体上，所述充气接头接一外部气源。
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