[实用新型]掩膜版的自动搬送装置有效
| 申请号： | 201120501691.5 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202369121U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 徐哲峰;薛俊 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/91;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜版的自动搬送装置，包括箱体，箱体的平台上并排设置有主存储盒、子存储盒，主存储盒与子存储盒之间设置有检查台；主存储盒的上方活动设置有主存储盒抓手，主存储盒抓手通过其连接端活动设置于主存储盒抓手轨道内；子存储盒的一侧活动设置有子存储盒抓手，子存储盒抓手通过其连接端活动设置于子存储盒抓手轨道内。本实用新型不仅能够实现掩膜版在主存储盒与子存储盒之间的自动搬送，而且能够实现掩膜版在主存储盒或子存储盒与检查台之间的自动搬送；当掩膜版在检查台上时，还能够对检查台上的掩膜板进行颗粒目视检查和颗粒吹扫。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 自动 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜版的自动搬送装置，其特征在于：包括箱体，箱体的平台上并排设置有主存储盒、子存储盒，主存储盒与子存储盒之间设置有检查台；主存储盒的上方活动设置有主存储盒抓手，主存储盒抓手通过其连接端活动设置于主存储盒抓手轨道内；子存储盒的一侧活动设置有子存储盒抓手，子存储盒抓手通过其连接端活动设置于子存储盒抓手轨道内。
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