[实用新型]一种高压气体脉冲阀

摘要

本实用新型公开了一种高压气体脉冲阀，该脉冲阀由高压气室后盖、高压气室主体、高压气室前盖、柱塞组合、柱塞组合夹持盘、进气口和压电陶瓷信号线接入口组成。其中柱塞组合由微调螺丝、压电陶瓷棒、铝制柱塞和柱塞顶端的O形橡胶圈组成。由高压气室后盖、高压气室主体和高压气室前盖组成一个密封的高压气室，通过柱塞组合夹持盘将柱塞组合固定在高压气室内，柱塞组合与设置在高压气室前盖上的喷气孔同轴，而且设置在柱塞组合前端的O形橡胶圈正好与高压气室前盖内表面相切。在高压气室后盖上设有高压气体进气孔和压电陶瓷驱动信号接入口。本实用新型所述脉冲阀有良好的密封性，可用于真空腔体内的脉冲放气。

主权项

一种高压气体脉冲阀，其特征在于：它由高压气室后盖、高压气室主体、高压气室前盖、柱塞组合和柱塞组合夹持盘同轴连接而成，内部形成一个密封的气室，后盖上设有高压气体进气孔和压电陶瓷信号线接入孔，高压气室主体为空心腔体，柱塞组合夹持盘与高压气室主体的腔体相适配，并套装在腔体内并定位连接，柱塞组合夹持盘上开有连通气室前后部分的固定螺纹孔；柱塞组合包括微调螺丝、压电陶瓷棒、柱塞，柱塞组合夹持盘中部设有安装孔，安装孔前部配合微调螺丝，孔后部适配并套装所述电陶瓷棒，所述微调螺丝与电陶瓷棒相抵，柱塞套于压电陶瓷棒的前端，柱塞前端套装O型密封圈并与前盖上的喷气孔位置对应。