[实用新型]一种扩散石英舟有效
| 申请号： | 201120502558.1 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202394853U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 李艳苹;陆赟;黄林锋;季健 | 申请（专利权）人： | 苏州盛隆光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 215612 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散石英舟，包括底座以及固定设置于底座上的舟体，所述舟体包括舟架和横杆，所述横杆为四根，所述四根横杆固定设置于所述舟架上，所述每根横杆呈柱状且长度相等，所述每根横杆的两个端面分别位于同一平面内，所述每根横杆上设有多个插槽，所述每根横杆上的插槽的数目一样，所述每个插槽的宽度相等，所述每两个相邻插槽之间的间距亦相等，所述每个插槽的中心线垂直于所述横杆。本实用新型可在保证产量不变的情况下实现双面扩散，有效提高硅片的少子寿命和光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种扩散石英舟，包括底座以及固定设置于底座上的舟体，其特征是：所述舟体包括舟架和横杆，所述横杆为四根，所述四根横杆固定设置于所述舟架上，所述每根横杆呈柱状且长度相等，所述每根横杆的两个端面分别位于同一平面内，所述每根横杆上设有多个插槽，所述每根横杆上的插槽的数目一样，所述每个插槽的宽度相等，所述每两个相邻插槽之间的间距亦相等，所述每个插槽的中心线垂直于所述横杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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