[实用新型]一种带有扩散接液盘的扩散系统

摘要

本实用新型公开了一种带有扩散接液盘的扩散系统，所述扩散系统包括三层扩散层，所述每层扩散层设有排废口、排废腔、排废管道，所述排废腔设有排废腔口，所述排废腔口设置于所述扩散层的底部并与所述排废管道相连，所述每层扩散层的排废腔内设有接液盘，所述接液盘包括支架和盘体，所述盘体开口向上，所述盘体由盘底和侧壁组成，所述侧壁上设有排液口，所述排液口位于所述排废腔口的上方，所述支架固定于所述盘底的底面上远离所述排液口的一端，所述接液盘放置于所述排废腔内时其盘底与所述扩散层的底部之间呈预定角度。本实用新型解决了由于偏磷酸腐蚀而造成扩散机器损坏和污染硅片的问题，降低了设备的维修成本和原料成本。

主权项

一种带有扩散接液盘的扩散系统，所述扩散系统包括三层扩散层，所述每层扩散层设有排废口、排废腔、排废管道，所述排废腔设有排废腔口，所述排废腔口设置于所述扩散层的底部并与所述排废管道相连，其特征是：所述每层扩散层的排废腔内设有接液盘，所述接液盘包括支架和盘体，所述盘体开口向上，所述盘体由盘底和侧壁组成，所述侧壁上设有排液口，所述排液口位于所述排废腔口的上方，所述支架固定于所述盘底的底面上远离所述排液口的一端，所述接液盘放置于所述排废腔内时其盘底与所述扩散层的底部之间呈预定角度。