[实用新型]一种用于直拉单晶炉热场的加热器有效
| 申请号： | 201120503128.1 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN202430328U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 方峰;邓德辉;王学锋;高朝阳;郑沉 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于直拉单晶炉热场的加热器，该加热器为螺旋管状结构的环形加热器。该加热器上设有三个连接柱，其中两个连接柱位于该加热器沿轴线方向的一端，第三个连接柱位于该加热器沿轴线方向的另一端。所述加热器的相邻两匝螺旋管之间设有强化结构。所述强化结构为绝缘支架。该加热器通电后，在满足焦耳定律提供热效应的同时，能在其腔体内部形成磁场，有利于抑制硅熔体的对流运动。采用环形加热器单晶炉具有磁场拉晶的效果，无需外置磁场装置，减少了外置磁场的电能消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉单晶炉热场 加热器 | ||
【主权项】：
一种用于直拉单晶炉热场的加热器，其特征在于：该加热器为螺旋管状结构的环形加热器，该加热器上设有三个连接柱，其中两个连接柱位于该加热器沿轴线方向的一端，第三个连接柱位于该加热器沿轴线方向的另一端。
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