[实用新型]扩散炉自动侧向进出舟装置有效
| 申请号： | 201120503784.1 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN202380132U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 肖四哲;邓金生 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉自动侧向进出舟装置，其包括：支撑架（1）、固定在支持架上的直线导轨（2）、套在直线导轨上的滑块（4）、固定在滑块上方的托架固定座（6）、固定在支撑架上的步进电机（3）、连接托架固定座与步进电机的传动带（5）、固定在托架固定座上方的石英舟托架（7）、固定在托架固定座和支撑架上的限位传感器、接收限位传感器位置信号并控制步进电机启停的控制器。本实用新型传送准确误差小，自动化程度高，工作过程只需要人员监视控制，无需直接接触硅片，保护了人员健康安全；设置多种故障报警模式，监控设备自动运行状态，保护设备的安全。本实用新型填补技术空缺引领行业动向，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 自动 侧向 进出 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉自动侧向进出舟装置，其特征在于包括：支撑架（1）、固定在支持架上的直线导轨（2）、套在直线导轨上的滑块（4）、固定在滑块上方的托架固定座（6）、固定在支撑架上且处于直线导轨一端的步进电机（3）、连接托架固定座与步进电机的用以驱动托架固定座和滑块沿直线导轨往复移动的传动带（5）、固定在托架固定座上方的石英舟托架（7）、固定在托架固定座和支撑架上的感知托架固定座移动极限位置的限位传感器、接收限位传感器位置信号并控制步进电机启停的控制器。
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