[实用新型]一种硅片擦拭固定装置有效
| 申请号： | 201120505959.2 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN202343483U | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 黄镇 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种硅片擦拭固定装置，用于对丝网印刷后的不良硅片进行固定擦拭。本实用新型实施例包括：本体101，在本体101的表面中部设置凹槽102；凹槽102长度小于本体101长度，凹槽102宽度小于本体101宽度，凹槽102深度小于本体101高度；凹槽102的凹陷部分面积的大小与需要擦拭的硅片的面积大小相匹配以放置和固定硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 擦拭 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片擦拭固定装置，其特征在于，包括：本体(101)，在所述本体(101)的表面中部设置凹槽(102)；所述凹槽(102)长度小于所述本体(101)长度，所述凹槽(102)宽度小于所述本体(101)宽度，所述凹槽(102)深度小于所述本体(101)高度；所述凹槽(102)的凹陷部分面积的大小与需要擦拭的硅片的面积大小相匹配以放置和固定所述硅片。
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