[实用新型]一种气相沉积用多层制品支架

摘要

本实用新型涉及一种气相沉积用多层制品支架。该多层制品支架包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通。利用本实用新型多层制品支架生产的涂层产品质量均匀一致，数量几倍增长，提高了生产的效率。

主权项

一种化学气相沉积用多层制品支架，其特征在于包括由圆套筒、布气盘和支杆组成的单元层；所述单元层的结构是布气盘置于圆套筒上，支杆直立固定在布气盘上用于支撑待涂基板，在一个单元的布气盘上放置另一个单元层的圆套筒；其中，所述圆套筒壁的上部对称设有两个凹口便于气体流通；所述支杆有一尖端。