[实用新型]真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置有效
| 申请号： | 201120508086.0 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN202380069U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 周有臣;宋家奇;吴坚;王学敏;周新宇;杜春辉;王赫;刘永;李勇;丛培武 | 申请（专利权）人： | 北京机电研究所 |
| 主分类号： | C23C8/20 | 分类号： | C23C8/20 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所 11303 | 代理人： | 吴景曾 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置，在真空低压渗碳设备炉胆内设有几组渗碳气体喷嘴，每组渗碳喷嘴都有独立的三条供气管路，分别提供乙炔气、氨气和高纯氮气，在每条供气管路的进气端均各自安装有质量流量计、电磁阀，在三条供气管路的出口处，装有一个对所充三种气体进行混合的混合器；在真空渗碳设备的抽真空管路中，设有可捕集炭黑的炭黑捕集器。本实用新型可在送气系统中控制不同位置喷嘴气体的混合比例，以及送气的流量，提高渗碳精度和渗碳的均匀性。在排气系统中可以消除炭黑对真空泵的污染，提高设备使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 低压 渗碳 设备 气体 系统 精确 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置，在真空低压渗碳设备炉胆内设有几组渗碳气体喷嘴，每组喷嘴都有独立的三条供气管路，分别提供乙炔气、氨气和高纯氮气，其特征在于：在每条供气管路的进气端均各自安装有质量流量计、电磁阀，在三条供气管路的出口处，装有一个对所充三种气体进行混合的混合器；在所述的真空低压渗碳设备的抽真空管路中，设有可捕集炭黑的炭黑捕集器。
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