[实用新型]具有孔状式晶圆电镀槽的设备

摘要

本实用新型公开一种具有孔状式晶圆电镀槽的设备，包括有一电镀槽体、夹具头、孔状分布板及导电结构体所组装成，其中该电镀槽的内部的侧面得知其左、右两侧装设有一对相向的导电结构体，该相对的导电结构体装设在两支撑杆上，其后方的两支撑杆之间装设孔状分布板，并与注水头与注水导管相连接，而电镀槽体的底部装设一排水管，在中央一底部装设一循环回流管，而两导电结构体之间装设一夹具头，该夹具头夹住被电镀晶圆放置在电镀槽体内，该夹具头内的晶圆能充分获得进行电化学的电镀加工作业。

主权项

一种具有孔状式晶圆电镀槽的设备，包括有一电镀槽体、导电结构体、夹具头及孔状分布板所组成，其中，孔状分布板：由孔洞至孔洞之间以圆状分布由内向外形成多孔圆状形体，而孔状分布板另一侧连接注水头与注水导管；夹具头：装设在电镀槽的中央处作夹持被电渡芯片；以及导电结构体：由孔状板与承载空间体所组成，其中，承载孔状板：呈凸体中央设一圆孔在圆孔的四周分布多孔环状体，在圆孔至顶部设长方形凹体并设有数个锁孔；导电体：下方为圆型体并形成电解体，该导电体选自阴极钛网、阴极铜网、阴极镍网，其上方连接固定柱，其中承载孔状板与导电体相互以锁孔结合锁固形成导电结构体，其电镀槽体的内部的左、右两侧装设有一对相向的导电结构体，该导电构体连接孔状分布板、注水头与注水导管，电镀槽体的底部装设一排水管，在中央处装设有夹具头夹住晶圆，其底部装设一循环回流管。