[实用新型]一种气相沉积反应腔室门阀装置有效
申请号: | 201120512758.5 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN202380076U | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 张超 | 申请(专利权)人: | 汉能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种气相沉积反应腔室门阀装置,具体地讲是涉及一种能够有效防止密封面和密封圈遭受破坏的气相沉积反应腔室门阀装置。其包括表面为平面的腔室侧壁、能够覆盖腔室侧壁上反应物进出口的门阀本体,门阀本体上设有用于带动门阀本体移动的气缸驱动的连杆,门阀本体上与腔室侧壁接触的一面外周边缘部分为密封圈的安装部分。本实用新型结构与清洁维护简单,有效的克服了在腔室侧壁上开槽造成的清洗维护不便且容易损伤密封圈和密封面的问题,保证了反应的稳定性,节约了维护成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 反应 门阀 装置 | ||
【主权项】:
一种气相沉积反应腔室门阀装置,包括表面为平面的腔室侧壁、能够覆盖腔室侧壁上反应物进出口的门阀本体,门阀本体上设有用于带动门阀本体移动的气缸驱动的连杆,其特征在于门阀本体上与腔室侧壁接触的一面外周边缘部分为密封圈的安装部分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉能科技有限公司,未经汉能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201120512758.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的