[实用新型]超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置

摘要

本实用新型涉及一种新型超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置，利用超声波悬浮和气浮的混合悬浮来达到减振的目的，属于精密驱动领域。超声波换能器圆盘与超声波换能器固定连接。工作平台与气浮支承固定连接，平台底座与气浮支承固定连接，气浮支承上分布着轴向的节流孔和压力腔。平台底座上分布着径向的节流孔和压力腔。气浮支承放置在超声波换能器圆盘上。这样整个连接好的气浮支承就被超声波悬浮和气浮共同悬浮起来。当混合悬浮时，超声波悬浮改善了气浮单独工作时的气旋现象和气锤振动。这种新型混合悬浮装置优点在于：易操作，结构简单，较单一气浮装置单独工作时有更高的悬浮刚度，减小了气浮装置自身存在的微小低频振动。

主权项

一种超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置，是通过超声波近声场悬浮和气浮两种混合悬浮式方实现混合悬浮减振，该超声波悬浮和气浮的混合悬浮减振装置包括：工作平台(1)、进气孔(2)、气流道(3)、气浮支承(4)、平台底座(6)、超声波换能器圆盘(9)、超声波换能器(11)、仪器支架(14)、超声波信号发生器(15)、空气压缩机(16)，其特征在于：气浮支承(4)上表面与工作平台(1)固定连接，气浮支承(4)下表面与平台底座(6)固定连接，超声波换能器(11)与超声波换能器圆盘(9)固定连接，超声波换能器(11)和超声波信号发生器(15)相连，超声波换能器(11)与仪器支架(14)固定连接，气浮支承(4)放置在超声波换能器圆盘(9)上，空气压缩机(16)出来的气体经过过滤后进入到进气口(2)。