[实用新型]一种单臂旋转拾取臂粘晶结构有效
| 申请号： | 201120513992.X | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN202388503U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王云峰 | 申请（专利权）人： | 大连佳峰电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体（集成电路）制造后道工序——粘晶工序中取放芯片用的一种单臂旋转拾取臂粘晶结构，包括伺服电机和由电机连接的旋转轮，还包括四连杆、拾取臂、摆臂转轮、两根同心轴、同步带轮、同步带，拾取臂轴端安装在同心轴上，从动端通过四连杆连接在旋转轮上，旋转轮通过同心轴连接摆臂转轮，摆臂转轮由伺服电机通过同步带控制，驱动拾取臂进行30度往复摆动。本实用新型采用30度单拾取臂结构，使旋转摆臂拾取粘片替代常用的工作台和送料台平放，拾取臂远距离拾取粘片。效率提高30%，结构简单，成本低，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 拾取 臂粘晶 结构 | ||
【主权项】：
一种单臂旋转拾取臂粘晶结构，包括伺服电机和由电机连接的旋转轮，其特征是：还包括四连杆、拾取臂、摆臂转轮、两根同心轴、同步带轮、同步带，拾取臂轴端安装在同心轴上，从动端通过四连杆连接在旋转轮上，旋转轮通过同心轴连接摆臂转轮，摆臂转轮由伺服电机通过同步带控制，驱动拾取臂进行30度往复摆动。
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