[实用新型]一种氮化硅反应槽有效
| 申请号： | 201120514733.9 | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN202358918U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李金富;陈晓光;郭大为;孙洪亮 | 申请（专利权）人： | 烟台同立高科工贸有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化硅反应槽，包括半圆柱状的槽体，在所述槽体的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽；所述槽体的材料为石墨。本实用新型一种氮化硅反应槽在反应釜可以放置牢靠，而且具有耐高温，不容易变形，使用寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 反应 | ||
【主权项】：
一种氮化硅反应槽，其特征在于：包括半圆柱状的槽体(1)，在所述槽体(1)的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽(2)。
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