[实用新型]石墨舟冷却卸片推车有效

专利信息
申请号: 201120523770.6 申请日: 2011-12-14
公开(公告)号: CN202429226U 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 孙良欣;胡盛华;李卫平 申请(专利权)人: 霞浦吉阳新能源有限公司
主分类号: B62B3/00 分类号: B62B3/00;B62B5/00
代理公司: 北京市商泰律师事务所 11255 代理人: 毛燕生
地址: 355100 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 石墨舟冷却卸片推车,涉及太阳能电池PECVD工序硅片的卸取,具体涉及一种带有硅片冷却的卸片推车,主要由一个总体钢质支架5,通过一个固定支架4将石墨舟支撑板将石墨舟支撑板2连接为一个整体,在石墨舟支撑板下固定有四个冷却装置3,在卸片台的最顶端安装有花篮支架1用于卸片使用。结构简单,操作方便,可以在卸片的同时,对硅片进行冷却,减少流转时间,并能有效的节省空间。
搜索关键词: 石墨 冷却 推车
【主权项】:
一种石墨舟冷却卸片推车,其特征在于卸片台有一个总体钢质支架,通过一个固定支架将石墨舟支撑板连接为一个整体,在石墨舟支撑板下固定冷却装置,在推车的最顶端安装有花篮支架用于卸片花篮的摆放,可以左右移动。
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