[实用新型]键合扫描仪

摘要

键合扫描仪，它涉及扫描仪技术领域。全自动工作平台(6)通过中间件连接在底座(15)上，光栅尺(7)固定在全自动工作平台(6)的边缘上，底座(15)通过螺纹连接固定在大理石平台(8)上，大理石平台(8)与柜架(11)之间设置有隔震系统(9)，悬臂(13)通过螺纹卡口固定在柜架(11)的侧面，其悬臂(13)分别连接有电脑显示器(14)和输入设备(16)，配电箱(10)和电脑主机(12)均设置于柜架(11)内。它为大批量键合金线的快速扫描检测提供了一种稳定、可靠的手段，可确保无漏检，克服了现有检测方式中效率低下，漏检率高的缺点；保障了键合金线这一核心半导体封装工艺的稳定性，提升生产线的效率和良率，从而提升了终端产品的竞争力。

主权项

键合扫描仪，其特征在于它包含工业摄像头(1)、显微镜(2)、聚焦升降部(3)、聚焦马达(4)、光源(5)、全自动工作平台(6)、光栅尺(7)、大理石平台(8)、隔震系统(9)、配电箱(10)、柜架(11)、电脑主机(12)、悬臂(13)、电脑显示器(14)、底座(15)和输入设备(16)，工业摄像头(1)与显微镜(2)通过标准C接口进行螺纹连接，显微镜(2)的主体通过中间件与聚焦升降部(3)相连，聚焦马达(4)通过联轴器与聚焦升降部(3)相连，光源(5)通过环形卡口与显微镜(2)的筒相连，全自动工作平台(6)通过中间件连接在底座(15)上，光栅尺(7)固定在全自动工作平台(6)的边缘上，底座(15)通过螺纹连接固定在大理石平台(8)上，大理石平台(8)与柜架(11)之间设置有隔震系统(9)，悬臂(13)通过螺纹卡口固定在柜架(11)的侧面，其悬臂(13)分别连接有电脑显示器(14)和输入设备(16)，配电箱(10)和电脑主机(12)均设置于柜架(11)内。