[实用新型]双轴浮动定子线性平台有效
| 申请号： | 201120527661.1 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202394848U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王红;禹新路;李泽湘;高宜铭;潘明 | 申请（专利权）人： | 东莞华中科技大学制造工程研究院 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种双轴浮动定子线性平台，其包括基座，基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置，以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台；所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时，所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。本实用新型的驱动电机动子推动所述工作台运动时，驱动电机的定子受到的反作用力不直接作用在平台的基座上，而是使定子朝向与所述工作台运动方向相反的方向滑动，从而避免了对基座的冲击，提高了线性平台定位精度和测量精度，能实现微米级的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 浮动 定子 线性 平台 | ||
【主权项】：
一种双轴浮动定子线性平台，所述平台包括基座，所述基座上固定有第一方向驱动装置、第二方向驱动装置，以及与所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置连接的工作台；其特征在于：所述第一方向驱动装置和第二方向驱动装置中的驱动电机驱动所述工作台运动时，所述驱动电机的定子沿所述工作台运动方向的反方向运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
