[实用新型]一种磁控溅射圆柱靶有效
| 申请号： | 201120528071.0 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202543309U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 于洪文;马兵;张艳丽;安利娟;李春江;何晓倩;李宝山;陈志朋;李萍 | 申请（专利权）人： | 山东桑乐太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 王汝银 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射圆柱靶，属于薄膜制备用装置，包括靶芯、冷却水流道、靶材，其特征是：所述靶芯的外圆周面上沿轴向设有多条凹槽；各凹槽内分别设有一磁条，所述磁条由多个条形磁铁依次排列形成；每个磁条的条形磁铁的磁极沿靶芯的径向设置，且当所述凹槽条数为奇数时，所述各条形磁铁沿靶芯径向朝外的磁极同为N极或同为S极；当所述凹槽条数为偶数时，间隔一个凹槽的凹槽内的条形磁铁沿靶芯径向朝外的磁极同为N极或S极，且相邻凹槽内的条形磁铁沿靶芯径向朝外的磁极相反。它形成的等离子体区域面积大，溅射均匀，提高了靶材的利用率、避免靶材的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 圆柱 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射圆柱靶，包括靶芯、冷却水流道、靶材，其特征是：所述靶芯的外圆周面上沿轴向设有多条凹槽；各凹槽内分别设有一磁条，所述磁条由多个条形磁铁依次排列形成；每个磁条的条形磁铁的磁极沿靶芯的径向设置，且当所述凹槽条数为奇数时，所述各条形磁铁沿靶芯径向朝外的磁极同为N极或同为S极；且相邻凹槽内的条形磁铁沿靶芯径向朝外的磁极相反。
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