[实用新型]能够产生磁场的探针台吸盘有效
| 申请号： | 201120530728.7 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202372528U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 谢晋春 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够产生磁场的探针台吸盘，包括吸盘，吸盘的下方设置有一线圈，线圈的中间固定设置有磁芯；线圈通过导线连接外部的电流源。所述磁芯的面积不小于待测晶圆上所有需测试芯片的面积；所述电流源的大小及电流方向通过测试仪控制，实现对所述线圈产生的磁场大小及方向的控制。或者所述磁芯的面积与待测晶圆上最大芯片的面积相同；所述线圈的移动通过测试仪控制，使线圈移动至所需测试的芯片下方。本实用新型能够为晶圆级芯片的测试提供磁场，从而对处于磁场环境下的晶圆进行性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 产生 磁场 探针 吸盘 | ||
【主权项】：
一种能够产生磁场的探针台吸盘，其特征在于：包括吸盘，吸盘的下方设置有一线圈，线圈的中间固定设置有磁芯；线圈通过导线连接外部的电流源。
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