[实用新型]一种高价离子源的调制装置有效
| 申请号： | 201120533756.4 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202487529U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;赵无垛;曲丕丞;王卫国;花磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14;H01J49/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高价离子源的调制装置，包括高价离子源、聚焦透镜、调速电极组、高价离子引出电极组、样品靶。高价离子通过激光与团簇相互作用产生，利用聚焦透镜将高价离子会聚于样品靶上，同时利用调速电极对高价离子的能量进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高价 离子源 调制 装置 | ||
【主权项】：
一种高价离子源的调制装置，其特征在于：包括依次排列的推斥引出电极组（2）、高价离子聚焦透镜（3）、调速电极（4）和样品靶（5）；推斥引出电极组（2）为二板平行、相互间隔设置的金属板状电极，一为推斥电极（6）、另一为加速电极（7），于一加速电极（7）中部设有贯穿电极板体的孔，高价离子聚焦透镜（3）由2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极构成；调速电极（4）组为2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极，或为2‑5块平行、相互间隔设置的金属板状电极，电极中部设有贯穿电极板体的孔；一为屏蔽电极（8）、其余为调速电极（9）构成；加速电极（7）的孔、高价离子聚焦透镜（3）、调速电极（4）组的孔同轴设置，加速电极（7）和屏蔽电极（8）靠近高价离子聚焦透镜（3）设置；于远离高价离子聚焦透镜（3）的调速电极（9）外侧设置有样品靶（5），样品靶（5）设置于调速电极（9）的孔的轴线上。
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