[实用新型]一种共焦显微系统三维扫描装置有效
| 申请号： | 201120534175.2 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202372163U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 杨召雷;董洪波;胡凯 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种共焦显微系统三维扫描装置，包括：横向扫描装置、纵向扫描装置；所述横向扫描装置包括第一高精度位移台、第二高精度位移台，第一高精度位移台、第二高精度位移台互成90°叠加放置，实现横向扫描；所述纵向扫描装置采用压电陶瓷控制器驱动，通过柔性平行导向系统实现运动，以实现高精度扫描。本实用新型提出的共焦显微系统三维扫描装置，纵向扫描采用高性能压电陶瓷，通过柔性平行导向运动，可以实现零摩擦、高分辨率和超高导向精度测量。本实用新型横向扫描采用两个高精度位移台互成90°叠加，结合部分用机械加工件连接，以实现大范围高速度扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微 系统 三维 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于，所述装置包括：横向扫描装置、纵向扫描装置；所述横向扫描装置包括第一高精度位移台、第二高精度位移台，第一高精度位移台、第二高精度位移台互成90°叠加放置，实现横向扫描；所述纵向扫描装置采用压电陶瓷控制器驱动，以实现高精度扫描。
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