[实用新型]一种用于硅片镀膜设备的石墨载板

摘要

本实用新型提供一种用于硅片镀膜设备的石墨载板，包括设置有均布的多个硅片承载位的石墨载板，其中所述石墨载板的每个硅片承载位内开设有矩形孔，两边列承载位内居中设置有矩形孔，中间列承载位内对称设置有两个矩形孔；所述两边列承载位内的矩形孔的短边与承载位边框的距离都为1cm，矩形孔的长边与承载位边框距离都为4cm；所述中间列承载位内的矩形孔的短边与承载位边框的距离是1cm，矩形孔的长边与承载位边框的最近距离是2cm，两个矩形孔的间距是6cm。本实用新型结构简单、可靠，仅对承载硅片的石墨载板增开通孔，解决了传热问题，同时也避免了高能量等离子体直接照射到底部加热系统，提升了电池片的转换效率，降低了运营成本。

主权项

一种用于硅片镀膜设备的石墨载板，包括设置有均布的多个硅片承载位的石墨载板(2)，其特征在于：所述石墨载板(2)的每个硅片承载位内开设有矩形孔，两边列承载位内居中设置有矩形孔(4)，中间列承载位内对称设置有两个矩形孔(5)。