[实用新型]一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块有效

专利信息
申请号: 201120540156.0 申请日: 2011-12-12
公开(公告)号: CN202483986U 公开(公告)日: 2012-10-10
发明(设计)人: 沈双宇 申请(专利权)人: 沈双宇
主分类号: F15B15/20 分类号: F15B15/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 154007 黑龙江省佳木斯前进区*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块。属于真空技术和气动机械领域,其特征是它由波纹管,夹紧面,前、后法兰,导向限位结构,回位弹簧组成。向模块内部充入压缩空气,波纹管向两端伸长,由于波纹管径向有一定刚度,在通用的10bar以下压力,能保证波纹管径向不发生变形。由于波纹管夹紧模块是全封闭结构,没有往复运动于气缸内的活塞杆,所以它在真空中有很好的密封性能。经实践测试它适用于真空镀膜等高真空领域。
搜索关键词: 一种 空中 工作 波纹管 夹紧 模块
【主权项】:
一种可在高真空中工作的波纹管夹紧模块,其特征在于:后法兰(1)将波纹管(2)等组成的夹紧模块固定在工作位置上,并导入导出气体、连接回位弹簧(4)、波纹管(2)和限位机构(3),波纹管(2)内没有活塞,保持行程走直线的限位机构(3)和回位弹簧(4),夹紧面(5)与波纹管(2)和后法兰(1)构成全封闭的空间,压缩空气推动波纹管的伸缩作用完成夹紧模块夹紧或放松工作.。
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