[实用新型]直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器有效
| 申请号： | 201120546469.7 | 申请日： | 2011-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202482486U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 罗斌;谢江帆;杨帆;雷世俊 | 申请（专利权）人： | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;吴彦峰 |
| 地址： | 614200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，其包括主要由连杆、钼重锤和籽晶夹头组成的籽晶夹持器本体，所述连杆设于钼重锤的上端，籽晶夹头设于钼重锤的下端，所述籽晶夹头内设有一上下贯通且与所夹持籽晶外形对应的空腔，所述籽晶夹头上设有一横向贯穿的排气孔。本实用新型籽晶夹持器采用大小头籽晶，籽晶即可牢固地固定在籽晶夹持器中不会脱落，籽晶受力均匀、承重量大、不易断裂，能确保单晶生长过程顺利完成；降低了生产成本，提高硅单晶的生产效率，籽晶夹头上有排气孔，装籽晶时封闭在夹持器中的空气，单晶炉抽空时能够排除，消除了安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉法 生长 单晶硅 籽晶 夹持 | ||
【主权项】：
一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，包括主要由连杆、钼重锤和籽晶夹头组成的籽晶夹持器本体，其特征在于：所述连杆设于钼重锤的上端，籽晶夹头设于钼重锤的下端，所述籽晶夹头内设有一上下贯通且与所夹持籽晶外形对应的空腔，所述籽晶夹头上设有一横向贯穿的排气孔。
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