[实用新型]一种石英舟有效

申请号：	201120549786.4	申请日：	2011-12-23
公开（公告）号：	CN202373570U	公开（公告）日：	2012-08-08
发明（设计）人：	梁惠钰	申请（专利权）人：	浚鑫科技股份有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673
代理公司：	北京集佳知识产权代理有限公司 11227	代理人：	逯长明
地址：	214443 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本实用新型公开了一种石英舟，包括：支撑架，平行安装于支撑架上的左高位载片杆、右高位载片杆和低位载片杆；左高位载片杆和右高位载片杆位于同一高度；低位载片杆设于左高位载片杆和右高位载片杆之间的下方；左高位载片杆设有向左侧倾斜的第一卡槽，右高位载片杆设有向右侧倾斜的第二卡槽，第一卡槽和第二卡槽相互对称设置；低位载片杆设有倾斜的第三卡槽，第三卡槽倾斜的方向与第二卡槽倾斜的方向一致。本实用新型较现有的石英舟减少了载片杆的数量，且斜置的卡槽设计使得装片时硅片切入卡槽的角度增大，方便装片操作。
搜索关键词：	一种石英
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【主权项】：

一种石英舟，其特征在于，包括：支撑架(101)，平行安装于所述支撑架(101)上的左高位载片杆(102)、右高位载片杆(106)和低位载片杆(103)；所述左高位载片杆(102)和所述右高位载片杆(106)位于同一高度；所述低位载片杆(103)设于所述左高位载片杆(102)和所述右高位载片杆(106)之间的下方；所述左高位载片杆(102)设有向左侧倾斜的第一卡槽(105)，所述右高位载片杆(106)设有向右侧倾斜的第二卡槽(107)，所述第一卡槽(105)和所述第二卡槽(107)相互对称；所述低位载片杆(103)设有倾斜的第三卡槽(104)，所述第三卡槽(104)倾斜的方向与所述第二卡槽(107)倾斜的方向一致。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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