[实用新型]MEMS热式流量传感器有效
| 申请号： | 201120553292.3 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN202403744U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张小水;刘建钢;王书潜;祁明锋 | 申请（专利权）人： | 郑州炜盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 黄军委 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS热式流量传感器，它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐；所述流体通道是内壁光滑且横截面呈方形的管道。该MEMS热式流量传感器具有结构简单、成本低、易于实现、效果突出、检测结果精确性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | mems 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS热式流量传感器，其特征在于：它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐。
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