[实用新型]一种晶体生长监测装置有效
申请号: | 201120556265.1 | 申请日: | 2011-12-28 |
公开(公告)号: | CN202380129U | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 伊戈尔库兹涅佐夫;伊戈尔柯尔克;马克菲列格勒;刘春艳;毕成;胡春霞 | 申请(专利权)人: | 苏州优晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/22 | 分类号: | C30B15/22 |
代理公司: | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人: | 孙高 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动监测晶体质量变化的晶体生长监测装置,包括支架和设置在支架内的提升轴、支架内顶端设置有称重传感器,所述称重传感器的下端固定设置有基座,基座内转动设置有从动吊装装置,从动吊装装置的上端位于基座内,其下端伸出基座,提升轴的上端固定设置在从动吊装装置下端内,提升轴上套设有传动套,且传动套的上端位于从动吊装装置下端外侧,且传动套的上端与从动吊装装置的下端之间通过弹性装置相连,传动套的下端从支架中穿出并于位于支架外部的驱动传动套转动的驱动装置相连。本实用新型的优点是:上述结构的晶体生产控制装置可自动监测晶体生长时的质量变化,而且晶体的旋转和上下移动不会影响其监测效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 监测 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长监测装置,包括支架和设置在支架内的提升轴、支架内顶端设置有称重传感器,其特征在于:所述称重传感器的下端固定设置有基座,基座内转动设置有从动吊装装置,从动吊装装置的上端位于基座内,其下端伸出基座,提升轴的上端固定设置在从动吊装装置下端内,提升轴上套设有传动套,且传动套的上端位于从动吊装装置下端外侧,且传动套的上端与从动吊装装置的下端之间通过弹性装置连接,传动套的下端从支架中穿出并于位于支架外部的驱动传动套转动的驱动装置相连,提升轴的下端也从支架内穿出。
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