[实用新型]一种清洗机篮筐有效
申请号: | 201120558781.8 | 申请日: | 2011-12-28 |
公开(公告)号: | CN202394850U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 任祖江;邓占鹏;张磊;智兵强;周积勋;朱晓磊;霍得生;智旭强;聂传付;谷金升 | 申请(专利权)人: | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人: | 陆君 |
地址: | 471900*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种涉及硅片清洗领域的清洗机篮筐,所述的篮筐包含篮筐本体、挡杆和导电体;所述的篮筐本体两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆,在篮筐本体两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆,且两根单晶硅花篮挡杆位于多晶硅花篮挡杆的两侧;所述的篮筐本体两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板;所述的篮筐本体下边框的角端设有接地的导电体;所述的篮筐不但能够安放单晶硅花篮和多晶硅花篮,并且在清洗过程中不会发生篮筐内花篮倾倒或压篮现象,同时所述的篮筐还能够有效的处理静电影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 清洗 篮筐 | ||
【主权项】:
一种清洗机篮筐,其特征是:所述的篮筐包含篮筐本体(1)、挡杆和导电体(4);所述的篮筐本体(1)两端上边框中部固定设有两根有间距的多晶硅花篮挡杆(2),在篮筐本体(1)两端上边框的下部面活动连接有两根单晶硅花篮挡杆(3),且两根单晶硅花篮挡杆(3)位于多晶硅花篮挡杆(2)的两侧;所述的篮筐本体(1)两端端面的对角位置分别安装有一块对应清洗机中感应装置的挡板(5);所述的篮筐本体(1)下边框的角端设有接地的导电体(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造