[实用新型]一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构有效
| 申请号： | 201120559032.7 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN202485818U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 秦明;蔡春华 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01K5/48 | 分类号： | G01K5/48;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 朱戈胜;王玉梅 |
| 地址： | 214135 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构，其特征是：包括台阶状的衬底、覆盖在衬底上表面的绝缘层、悬臂梁和尖端阴极；悬臂梁一端与台阶上层的绝缘层连接，另一端为自由端，处于悬空状态；尖端阴极位于台阶下层的绝缘层上，其尖端位于悬臂梁的自由端下部，两者间隙设置；所述悬臂梁为双层结构，上下两层材质为金属，且两种金属材质的热膨胀系数不等。本实用新型制造工艺简单，灵敏度高，温度测量范围宽，可以在零下80度低温下工作，采用微机械加工，可批量生产器件，使成本降低和一致性等性能得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 结构 发射 微机 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构，其特征是：包括台阶状的衬底、覆盖在衬底上表面的绝缘层、悬臂梁和尖端阴极；悬臂梁一端与台阶上层的绝缘层连接，另一端为自由端，处于悬空状态；尖端阴极位于台阶下层的绝缘层上，其尖端位于悬臂梁的自由端下部，两者间隙设置；所述悬臂梁为双层结构，上下两层材质为金属，且两种金属材质的热膨胀系数不等。
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