[实用新型]脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置

摘要

本实用新型涉及脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，高频率脉冲激光器的输出端依次布置光闸、扩束镜和半透半反镜片，半透半反镜片的输出端布置有第一1/2波片和第二高反射率镜片，第一1/2波片的输出端依次布置第一格兰棱镜和第一高反射率镜片，第一高反射率镜片的输出端布置有第一振镜场镜系统，第一振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台；第二高反射率镜片的输出端布置有第二1/2波片和第二格兰棱镜，第二格兰棱镜的输出端布置有第三高反射率镜片，第三高反射率镜片的输出端布置有第二振镜场镜系统，第二振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台。实现高效率高精度对触摸屏产品中银浆和ITO进行激光蚀刻。

主权项

脉冲激光刻蚀油墨上银浆导电膜层的装置，其特征在于：高频率脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有半透半反镜片（4），半透半反镜片（4）的输出端布置有第一1/2波片（5）和第二高反射率镜片（19），第一1/2波片（5）的输出端布置有第一格兰棱镜（6），第一格兰棱镜（6）的输出端布置有第一高反射率镜片（9），第一高反射率镜片（9）的输出端布置有第一振镜场镜系统（7），第一振镜场镜系统（7）的输出端正对于四轴高精度平台（15）；第二高反射率镜片（19）的输出端布置有第二1/2波片（20），第二1/2波片（20）的输出端布置有第二格兰棱镜（21），第二格兰棱镜（21）的输出端布置有第三高反射率镜片（24），第三高反射率镜片（24）的输出端布置有第二振镜场镜系统（22），第二振镜场镜系统（22）的输出端正对于四轴高精度平台（15）；所述四轴高精度平台（15）的上方布置有CCD对位观察系统（11），所述四轴高精度平台（15）的一侧布置有吹气系统（12），另一侧安装有集尘系统（13），第一高反射率镜片（9）的输出端还布置有第一功率实时监测探头（10），第三高反射率镜片（24）的输出端还布置有第二功率实时监测探头（25），第一功率实时监测探头（10）和第二功率实时监测探头（25）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连，第一振镜场镜系统（7）和第二振镜场镜系统（22）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连。