[实用新型]一种ESD防护电阻

摘要

本实用新型公开了一种ESD防护电阻，属于半导体技术领域。该ESD防护电阻包括电阻导电区、阳极、阴极、第Ⅰ隔离层、第Ⅱ隔离层、第Ⅲ隔离层和衬底。该ESD防护电阻利用第Ⅰ隔离层、第Ⅱ隔离层和第Ⅲ隔离层提供的电学隔离和热学隔离，使得当通过电阻的ESD电流越大时，电阻越大，电阻承载的电压降越大，限流能力也越好。

主权项

一种ESD防护电阻，其特征在于，包括电阻导电区、阳极、阴极、第Ⅰ隔离层、第Ⅱ隔离层、第Ⅲ隔离层和衬底；所述电阻导电区包括电阻承载层和硅化物层，所述硅化物层附着于所述电阻承载层之上，所述硅化物层的一端设有阳极欧姆接触区，所述硅化物层的另一端设有阴极欧姆接触区，所述硅化物层于所述阳极欧姆接触区和阴极欧姆接触区之间形成硅化物层电阻区；所述阳极连接于所述阳极欧姆接触区，所述阴极连接于所述阴极欧姆接触区；所述第Ⅱ隔离层环绕所述电阻导电区设置；所述第Ⅰ隔离层附着于所述电阻承载层和所述第Ⅱ隔离层之下；所述第Ⅲ隔离层附着于所述硅化物层和所述第Ⅱ隔离层之上，所述阳极和所述阴极分别从所述第Ⅲ隔离层伸出；所述衬底附着于所述第Ⅰ隔离层之下。