[实用新型]一种用于生产管状多晶硅的反应器有效
| 申请号： | 201120567911.4 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN202558643U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 钟真武;陈涵斌 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于生产多晶硅的反应器，采用类似列管式换热器的结构，使含硅原料气在列管内部沉积生产，反应器采用双管板及石墨套件将管式沉积载体固定在反应器内，电极通过石墨套件连接管状载体并通电加热，含硅原料气体在管状载体内部通过并在管状载体内壁沉积多晶硅，反应器内还设有中心及内壁辅助加热设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 管状 多晶 反应器 | ||
【主权项】：
一种用于生产管状多晶硅的反应器，主要包括外壳（1）、内衬（2）、封头（3）、管板（4）、原料气进出口（5）、沉积管（6）、石墨套件（7）、电极（8）以及中心加热件（9）；其特征在于：反应器两端有封头（3）及原料气进出口（5），封头（3）分别与管板（4）连接并密封，管板（4）内部设置有电极（8），管板（4）上固定石墨套件（7），石墨套件（7）与电极（8）紧密相连，管板（4）中心位置固定有中心加热件（9），管板（4）之间连接外壳（1）和内壁（2）并密封，两管板（4）上对应位置的石墨套件（7）之间固定沉积管（6）；含硅原料气体由一侧原料气进出口（5）进入封头（3）后分别经由石墨套件（7）流入沉积管（6），沉积管（6）由电加热至反应温度，含硅原料气体在沉积管（6）内壁反应并沉积生成多晶硅。
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