[实用新型]一种硅片镀膜用的石墨舟

摘要

本实用新型实施例公开了一种硅片镀膜用的石墨舟，包括：石墨舟体；设置在所述舟体上的多个舟框；固定在所述舟体下表面的两条导轨；其中，所述舟框包括：贯穿所述舟体的通孔，所述通孔形状与硅片形状相匹配；设置在所述通孔内壁的装载台，所述装载台用于承载硅片，且所述装载台低于所述舟体上表面，高于所述舟体的下表面；所有舟框的装载台均处于同一水平面。所述石墨舟与现有上镀膜石墨舟类似，可直接进行上镀膜，同时，所述装载台对硅片的遮挡面积小，在下镀膜时被遮挡部分可忽略不计，因此无需翻片即可进行下表面镀膜。因此，所述石墨舟进行硅片两面镀膜时无需翻片操作，提高了生产效率，且避免了因翻片导致的碎片问题的发生，提高了成品率。

主权项

一种硅片镀膜用的石墨舟，其特征在于，包括：石墨舟体；设置在所述舟体上的多个舟框；固定在所述舟体下表面的两条导轨；其中，所述舟框包括：贯穿所述舟体的通孔，所述通孔形状与硅片形状相匹配；设置在所述通孔内壁的装载台，所述装载台用于承载硅片；所述装载台低于所述舟体上表面，且高于所述舟体的下表面；所有舟框的装载台均处于同一水平面。