[实用新型]镀膜装置用的真空锁有效
| 申请号： | 201120576251.6 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202465858U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种镀膜装置用的真空锁，包括定块、上滑组件和下滑组件，定块中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块、上导向块和上驱动元件，上滑块一侧与定块滑动连接，上滑块另一侧与上导向块滑动连接，上导向块为倒L形结构，上导向块顶部与定块顶面固定连接，上驱动元件输出端与上滑块顶部固定连接。本镀膜装置用的真空锁是针对线式的卷绕真空镀膜装置而设，可适用于薄膜或薄片铜板的卷绕镀膜加工，其密封效果好，原理简单，使用也方便。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 真空 | ||
【主权项】：
镀膜装置用的真空锁，其特征在于，包括定块、上滑组件和下滑组件，定块中部开有与真空室通孔相对应的定块通孔，上滑组件和下滑组件分别与定块连接，上滑组件和下滑组件对称设于真空室通孔的上下两侧，上滑组件设于真空室通孔的上方，下滑组件设于真空室通孔的下方；上滑组件包括上滑块、上导向块和上驱动元件，上滑块一侧与定块滑动连接，上滑块另一侧与上导向块滑动连接，上导向块为倒L形结构，上导向块顶部与定块顶面固定连接，上驱动元件输出端与上滑块顶部固定连接。
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