[实用新型]一种多晶硅薄膜有效
| 申请号： | 201120577309.9 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202405264U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 黄宇华;史亮亮;赵淑云 | 申请（专利权）人： | 广东中显科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 | 代理人： | 苗青盛;王凤华 |
| 地址： | 528225 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多晶硅薄膜，该薄膜生长在具有V字型凹槽或V字型凸起的衬底表面上，该多晶硅薄膜均匀地覆盖V字型凹槽或V字型凸起的各个侧壁，部分多晶硅薄膜被掺杂，部分多晶硅薄膜未掺杂，其特征在于，掺杂的部分形成搭桥晶粒线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 薄膜 | ||
【主权项】：
一种多晶硅薄膜，该薄膜生长在具有V字型凹槽或V字型凸起的衬底表面上，该多晶硅薄膜均匀地覆盖V字型凹槽或V字型凸起的各个侧壁，部分多晶硅薄膜被掺杂，部分多晶硅薄膜未掺杂，其特征在于，掺杂的部分形成搭桥晶粒线。
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