[发明专利]固体摄像器件

摘要

固体摄像器件的像素(11)具备：第1导电型的第1半导体层(1)，形成于衬底上；第1半导体层上的第2导电型的第2半导体层(2)；第1导电型的第3半导体层(5a、5b)，形成于第2半导体层(2)的上部侧面区域；第2导电型的第4半导体层(6a、6b)，形成于第3半导体层(5a、5b)的外侧面区域；栅极导体层(4a、4b)，隔着绝缘膜(3a、3b)而形成于第2半导体层(2)的下部侧面区域；以及第2导电型的第5半导体层(7)，形成于第2半导体层(2)和第3半导体层(5a、5b)的上面；且第5半导体层(7)和第4半导体层(6a、6b)为相连接，且至少第3半导体层(5a、5b)、第2半导体层(2)的上部区域、第4半导体层(6a、6b)、以及第5半导体层(7)形成于岛状形状内。

主权项

一种固体摄像器件，具有1个或多个像素，其中，前述像素由下列构件所构成：第1半导体层，形成于衬底上；第2半导体层，形成于前述第1半导体层上；第1绝缘膜，形成于前述第2半导体层的下部的侧面；栅极导体层，隔着前述第1绝缘膜而形成于前述第2半导体层的下部的侧面；第3半导体层，形成于前述第2半导体层的上部的侧面；第4半导体层，形成于未和前述第2半导体层的侧面相对向的前述第3半导体层的侧面；以及第5半导体层，形成于前述第2半导体层和前述第3半导体层的上部，且和前述第4半导体层作电性连接，至少前述第3半导体层、前述第2半导体层中形成有前述第3半导体层的上部区域、前述第4半导体层、以及前述第5半导体层形成于岛状形状内，前述第2半导体层和前述第3半导体层形成二极管，前述二极管具有栅极的功能，且前述第1半导体层和前述第5半导体层间的前述第2半导体层具有沟道的功能，藉此而形成接合晶体管，位于前述第1半导体层和前述第3半导体层之间的第2半导体层具有沟道的功能，且前述栅极导体层具有栅极的功能，藉此而形成MOS晶体管，将因电磁能量波的照射而产生的信号电荷蓄积于前述二极管，依据蓄积于前述二极管的信号电荷量而产生变化，流通于前述接合晶体管的电流作为信号而被检测，蓄积于前述二极管的信号电荷通过前述MOS晶体管的沟道，而于前述第1半导体层被去除，前述第4半导体层和前述第5半导体层的电压为相同的电压。