[发明专利]校准方法和平板显示器的制造方法无效
| 申请号： | 201180001603.8 | 申请日： | 2011-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102365591A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 浜田良太;村社智宏 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01J9/02;H01J11/12;H01J11/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种将基板与光掩模之间的距离设定为规定的曝光间隙的校准方法。光掩模为矩形，且包括第一边和与第一边对置的第二边。使第一边的中点与基板之间的距离对准曝光间隙。以连接第一边的中点和第二边的中点的线为轴使光掩模旋转，从而使第一边的两端的每一个与基板之间的距离对准所述曝光间隙。以第一边为轴使光掩模旋转，从而使第二边的中点与基板之间的距离对准曝光间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 方法 平板 显示器 制造 | ||
【主权项】：
一种校准方法，该校准方法将基板与光掩模之间的距离设定为规定的曝光间隙，其中，所述光掩模为矩形，且包括第一边和与所述第一边对置的第二边，使所述第一边的中点与所述基板之间的距离对准所述曝光间隙，以连接所述第一边的中点和所述第二边的中点的线为轴使所述光掩模旋转，从而使所述第一边的两端的每一个与所述基板之间的距离对准所述曝光间隙，以所述第一边为轴使所述光掩模旋转，从而使所述第二边的中点与所述基板之间的距离对准所述曝光间隙。
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