[发明专利]微透镜的制造方法有效
| 申请号： | 201180005701.9 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102713687A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 荒濑慎哉;坂口崇洋 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;H01L27/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供实效灵敏度高的固体摄像元件和其制造方法，其使微透镜形成时的相邻透镜间间隙消除、透镜间重合结构的形成优异、此外透镜的曲率控制性优异、微透镜形成稳定性提高。提供了一种固体摄像元件的制造方法，所述固体摄像元件是将微透镜以彼此相邻的方式配置在基板上而成的，所述制造方法包含以下第1工序和第2工序，第1工序:在基板表面上隔着将要设置第2微透镜的空间形成第1微透镜，第2工序:在形成有该第1微透镜的基板表面上涂布外覆材料，接着进行干燥，将其使用灰度掩模进行曝光，接着将曝光后的外覆材料显影，从而在第1微透镜和其相邻的第1微透镜之间的空间形成第2微透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种固体摄像元件的制造方法，所述固体摄像元件是将微透镜以彼此相邻的方式配置在基板上而成的固体影像元件，所述制造方法包含以下第1工序和第2工序，第1工序:在基板表面上隔着将要设置第2微透镜的空间而形成第1微透镜，第2工序:在形成有该第1微透镜的基板表面上涂布外覆材料，接着进行干燥，使用灰度掩模将其曝光，接着将曝光后的外覆材料显影，从而在第1微透镜和其相邻的第1微透镜之间的空间形成第2微透镜。
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