[发明专利]用于测量少数载流子寿命的装置及其使用方法无效
| 申请号： | 201180005822.3 | 申请日： | 2011-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN102713591A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | G·L·米勒;J·W·福斯特;D·C·缇格韦尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/28;H01L21/66;G01R31/3185 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于测量少数载流子寿命的装置。该装置包括谐振电路，所述谐振电路具有电感器和电容器并且被配置为在测量频率下谐振。该装置还包括具有第一部分和第二部分的铁磁芯。第一部分定义间隙并且可以被配置为沿其引导由所述电感器建立的磁场，使得第一部分之外的磁场的侧向散布被抑制，并且跨所述间隙大体上均匀地引导所述磁场。第二部分可以被配置为沿第二部分引导磁场并且结合第一部分将磁场引导到闭环中。辐射源可以被配置为辐射与由铁磁芯的第一部分定义的间隙接近的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 少数 载流子 寿命 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：谐振电路，所述谐振电路包括电感器和电容器并且被配置为在测量频率下谐振；铁磁芯，所述铁磁芯包括：第一部分，所述第一部分定义间隙并且被配置为沿所述第一部分引导由所述电感器建立的磁场，使得所述第一部分之外的磁场的侧向散布被抑制，并且跨所述间隙大体上均匀地引导所述磁场；以及第二部分，所述第二部分被配置为沿所述第二部分引导磁场并且结合所述第一部分将所述磁场引导到闭环中；以及辐射源，所述辐射源被配置为辐射与由所述铁磁芯的所述第一部分定义的间隙接近的区域。
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