[发明专利]用于制造压电多层器件的方法和压电多层器件有效
申请号: | 201180006758.0 | 申请日: | 2011-01-21 |
公开(公告)号: | CN102714274A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | A.格拉朱诺夫;O.德诺夫塞克 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/24 | 分类号: | H01L41/24;H01L41/083 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杜荔南;李家麟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 提供一种用于制造压电多层器件的方法,其中提供压电未烧结膜和电极材料,交替地相叠地设置和烧结未烧结膜和电极材料,其中为电极材料配备包含PbO的涂层,和/或将PbO与电极材料混合。此外提供在内电极(20)的表面上具有带有极性裂缝(25)的区域的压电多层器件。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 压电 多层 器件 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造压电多层器件的方法,包括以下步骤:A)提供包含压电材料的压电未烧结膜,B)提供包含Pd的电极材料,C)交替地设置未烧结膜和由电极材料制成的层以形成堆叠(1),D)对该堆叠(1)进行烧结,其中在方法步骤C)中为至少一个由电极材料制成的层配备包含PbO的涂层,和/或在方法步骤B)中向电极材料掺合PbO。
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